钼（Mo）因其独特的性能而常用于真空镀膜设备。以下是用于该设备的钼部件的一些特性：
1，熔点高： 钼是所有金属元素中熔点最高的元素之一，熔点约为 2,623 摄氏度（4,753 华氏度）。这使得钼部件能够承受真空镀膜过程中的高温。
2，优异的导热性： 钼具有良好的导热性，可在真空镀膜系统中有效散热。这有助于保持稳定的工作温度，防止过热。
3，卓越的导电性： 钼具有很高的导电性，这对于在真空镀膜设备中产生和控制电弧或等离子体至关重要。这一特性在溅射或离子镀等应用中尤为有利。
4，热膨胀系数低： 钼的热膨胀系数相对较低，这意味着它在温度变化时的膨胀和收缩都很小。这一特性有助于钼制件在不同的热条件下保持尺寸稳定性，防止翘曲或变形。
5，良好的耐腐蚀性： 钼具有耐多种腐蚀环境（包括酸和碱）的特性。这种耐腐蚀性使钼制件能够承受真空镀膜过程中经常遇到的恶劣化学条件。
6，高强度和刚度： 钼以其优异的机械性能而著称，包括高拉伸强度和刚度。这使得钼部件即使在高应力或高负荷条件下也能坚固、耐用、不易变形。
7，低蒸汽压：钼在高温下的蒸汽压较低，因此适合在真空环境中使用。这一特性有助于防止污染，保持涂层材料和真空室的纯净度。
总之，钼具有熔点高、热导率和电导率高、热膨胀系数低、耐腐蚀、强度高和蒸汽压低等特点，是真空镀膜设备各种部件的理想材料。
