钨离子注入件

钨

钨离子件是半导体离子注入机中的关键耗材，主要由高纯度钨（纯度≥99.95%）制成，用于在晶圆制造过程中进行离子掺杂。这类部件需具备极高的耐高温、耐腐蚀和抗电磁干扰性能，以确保离子束的稳定性和纯度。

主要应用场景

• ‌半导体制造‌：用于离子注入机的离子源、弧光室、灯丝、夹具等核心部件。
• ‌高温环境‌：可承受高达 1400°C 的工作温度。
• ‌腐蚀性气体环境‌：在强腐蚀性工艺气体中保持结构稳定。
• ‌高精度要求‌：确保离子束无杂质、无偏转，提升芯片良率。

常见产品类型

• 钨离子注入植入件
• 钨隔离套、钨套
• 钨螺丝、钨螺母