钼离子注入件

钼离子注入件又叫钼半导体离子注入配件

基本信息

宝鸡迈腾专攻半导体零件领域,尤其是钨、钼离子注入件的生产,产品主要用于瓦里安,亚舍利,应用材料等公司设备。我们已与国外厂商建立了长久的战略合作关系,积累了丰富经验。

特性

  • 具有良好的导热、导电性能
  • 低膨胀系数、低蒸气压、耐高温等

离子注入工艺原理

当真空中有一束离子束射向一块固体材料时,受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低,并最终停留在固体材料中,这一现象被称为离子注入。

钼离子注入件 (3)

应用

  • 钼离子注入件用于电光源
  • 钼离子注入件用于高温发热体
  • 钼离子注入件用于电极
  • 钼离子注入件主要应用于离子注入设备

产品参数

化学成分

牌号 主要成分(质量分数)/% 杂质含量(质量分数)/%,不大于
Mo Ti Zr C Al Ca Fe Mg Ni Si C N P O
Mo1 余量 —- —- —- 0.002 0.002 0.006 0.002 0.005 0.005 0.010 0.003 0.001 0.008
Mo2 余量 —- —- —- 0.005 0.004 0.015 0.005 0.005 0.005 0.020 0.003 0.001 0.020
TZM 余量 0.40-0.55 0.06-0.12 0.01-0.04  

—–

 

—-

0.010  

—-

0.005 0.005  

—-

0.003  

—-

 

0.080

Mo-La 余量 La:0.08-1.50 0.002 0.002 0.006 0.002 0.005 0.005 0.010 0.003 —- —-
TZM钼合金中允许加入0.02%的硼(B)Mo-La钼合金中La为名义添加量

迈腾是专业的钼离子注入件厂家,作为钨/钼/钽离子注入件制造商,我们的产品远销海内外,如有需求,欢迎下单咨询。

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