PVD 镀膜材料主要用以制备各种具有特定功能的薄膜材料,应用领域包括平板显示、半导体、太阳能电池、光磁记录媒体、 光学元器件、 节能玻璃、 LED、工具改性、高档装饰用品等。

(1)薄膜材料制备技术概述

薄膜材料生长于基板材料(如屏显玻璃、光学玻璃等)之上,一般由金属、非金属、合金或化合物等材料经过镀膜后形成,具有增透、吸收、截止、分光、反射、滤光、干涉、保护、防水防污、防静电、导电、导磁、绝缘、耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、装饰和复合等功能,并能够提高产品质量、环保、节能、延长产品寿命、改善原有性能等。

目前,薄膜材料制备技术主要包括:

物理气相沉积(PVD)技术 和 化学气相沉积(CVD)技术

①PVD技术

PVD 技术是制备薄膜材料的主要技术之一,指在真空条件下采用物理方法,将某种物质表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基板材料表面沉积具有某种特殊功能的薄膜材料的技术。在PVD 技术下,用于制备薄膜材料的物质,统称为 PVD 镀膜材料。

经过多年发展,PVD 技术已成为目前主流镀膜方法,主要包括溅射镀膜 真空蒸发镀膜

A、溅射镀膜

溅射镀膜是指利用离子源产生的离子,在真空中经过加速聚集,而形成高速度的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基板材料表面的技术。被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜材料的原材料,称为溅射靶材。

一般来说,溅射靶材主要由靶坯、背板(或背管)等部分构成,其中,靶坯是高速离子束流轰击的目标材料,属于溅射靶材的核心部分,在溅射镀膜过程中,靶坯被离子撞击后,其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成薄膜材料;由于溅射靶材需要安装在专用的设备内完成溅射过程,设备内部为高电压、高真空的工作环境,多数靶坯的材质较软或者高脆性,不适合直接安装在设备内使用,因此,需与背板(或背管)绑定, 背板(或背管)主要起到固定溅射靶材的作用,且具备良好的导电、导热性能。

溅射镀膜的基本原理如下:

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溅射镀膜工艺可重复性好、膜厚可控制,可在大面积基板材料上获得厚度均匀的薄膜,所制备的薄膜具有纯度高、致密性好、与基板材料的结合力强等优点,已成为制备薄膜材料的主要技术之一,各种类型的溅射薄膜材料已得到广泛的应用,因此,对溅射靶材这一具有高附加值的功能材料需求逐年增加,溅射靶材亦已成为目前市场应用量最大的 PVD 镀膜材料。

溅射靶材的种类较多,即使相同材质的溅射靶材也有不同的规格。按照不同的分类方法,可将溅射靶材分为不同的类别,主要分类情况如下:

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B、真空蒸发镀膜

真空蒸发镀膜是指在真空条件下,利用膜材加热装置(称为蒸发源)的热能,通过加热蒸发某种物质使其沉积在基板材料表面的一种沉积技术。被蒸发的物质是用真空蒸发镀膜法沉积薄膜材料的原材料,称之为蒸镀材料。

真空蒸发镀膜系统一般由三个部分组成:真空室、蒸发源或蒸发加热装置、放置基板及给基板加热装置。在真空中为了蒸发待沉积的材料,需要容器来支撑或盛装蒸发物,同时需要提供蒸发热使蒸发物达到足够高的温度以产生所需的蒸汽压。

真空蒸发镀膜的基本原理如下:

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真空蒸发镀膜技术具有简单便利、操作方便、成膜速度快等特点,是应用广泛的镀膜技术,主要应用于小尺寸基板材料的镀膜。

②CVD技术

CVD 技术是在高温下依靠化学反应、把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜材料的技术。

2、主要PVD 镀膜材料

(1)溅射靶材

溅射靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料,具有高纯度、高密度、多组元、晶粒均匀等特点,一般由靶坯和背板(或背管)组成。按使用的原材料材质不同,溅射靶材可分为金属/非金属单质靶材、合金靶材、化合物靶材等。

具有代表性的溅射靶材产品如下:

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溅射靶材应用于平板显示、光学元器件、节能玻璃、半导体、 太阳能电池等行业。代表性的溅射靶材图示如下:

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合金靶材:

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(2)蒸镀材料

采用不同的原材料、配方及工艺,迄今已研发出数百种蒸镀材料,部分主要产品说明如下:

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蒸镀材料应用领域包括光学元器件、LED、平板显示和半导体分立器等。具有代表性的蒸镀材料图示如下:

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主要产品工艺流程

1、溅射靶材工艺流程

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其中,主要工序的具体含义如下:

  • 粉末冶炼:对原料粉末进行前期的气氛烧结,对原料粉末中气体含量进行控制。

  • 粉末混合:靶材有着独特的配方,需精确的控制各组分的含量,并严格限制杂质含量,在粉末冶金的过程中,需要将各元素充分混合均匀,粒度分布均匀,防止污染,并要通过特殊工艺手段制备成混合型复合粉。

  • 压制成型:采用粉末冶金工艺制备的靶材需要对粉体材料进行预压,使之成为中等密度生坯,其密度的均匀性和内部的缺陷影响着后期高温烧结的成品率。

  • 气氛烧结:预压成型的生坯需要再经过一次或多次的高温烧结,根据不同材料选择不同的烧结温度曲线,并选择不同的烧结环境,如烧结气氛、烧结压力等,从而制备成高密度的靶坯。

  • 塑性加工:金属坯锭需经过大幅度的塑性变形,以获得足够的长宽厚度尺寸,并使得内部晶粒进行足够的拉伸变形,从而在内部产生足够多的位错。 热处理:金属坯锭在经过大幅度的塑形变形后,根据不同的材料的特性选择热处理工艺,从而使金属材料发生重结晶,去除材料内应力。

  • 超声探伤:靶坯加工完后需要采用超声波进行检查材料内部是否有缺陷,靶坯与背板绑定完成后,需要采用水浸式超声波扫描仪进行粘结层的检测,检验粘结面积是否达标。

  • 机械加工:靶坯需要进行精密的机械成型加工,用于与靶坯复合使用的背板,由于承担与镀膜设备精确配合、承受高压水冷等作用,需要具备极高的尺寸精度与机械强度,加工难度较高,尤其是带内循环水路的背板,由于材质的特殊性,水路的密闭焊接非常困难,需要用到特种焊接工艺。

  • 金属化:靶坯与背板在绑定之前,为增强靶材和靶材与焊料的金属润湿性能,需要进行焊合面的预处理,使之表面镀上一层过渡层。

  • 绑定:大部分靶材由于材料的物理或者化学性能受限,不可直接装机镀膜使用,需要采用金属焊料将靶坯与背板相互焊合连接,并且表面有效粘结率需要达到大于 95%的大面积焊合,整个过程需要在高温和高压下进行。

2、蒸镀材料工艺流程

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其中,主要工序的具体含义如下:

  • 混料:指配制好的原料经过机械混合达到均匀分散的加工工艺过程,是材料加工中最重要的生产工艺之一。

  • 原料预处理:指将混和好的原料进行常温或高温处理,提高材料的纯度,细化颗粒的粒度,激发材料的反应活性,降低材料烧结温度。

  • 成型:指将材料经过机械方式达到所需规格的加工工艺工程,是材料加工中最重要的生产工艺之一。

  • 烧结:指材料在高温下,陶瓷生坯固体颗粒的相互键联,晶粒长大,空隙(气孔)和晶界渐趋减少,通过物质的传递,其总体积收缩,密度增加,最后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体的过程,是材料加工中最重要的生产工艺之一。烧结方式主要有常压高温烧结、真空烧结、热压烧结、气氛烧结等。

  • 镀膜检测:是在蒸镀材料生产完后,采用蒸发镀膜设备对材料的性能进行检测,检查产品性能指标是否合格,是材料性能检测中重要的检测手段。

PVD 镀膜材料行业上下游产业链

PVD 镀膜材料产业链上下游关系如下:

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2016 年全球高纯溅射靶材市场规模约为 113.6 亿美元,其中平板显示(含触控屏)用靶材为 38.1 亿美元、半导体用靶材 11.9 亿美元、太阳能电池用靶材23.4 亿美元、记录媒体靶材 33.5 亿美元。到 2019 年,全球高纯溅射靶材市场规模将超过 163 亿美元,年复合增长率达 13%。

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PVD 镀膜材料下游应用行业概况

1、平板显示行业

(1)PVD 镀膜材料在平板显示行业的应用 平板显示器主要包括液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、有机发光二极管显示器(OLED)等,以及在 LCD 基础上发展起来的触控(TP)显示产品。

镀膜是现代平板显示产业的基础环节,为保证大面积膜层的均匀性,提高生产率和降低成本,几乎所有类型的平板显示器件都会使用大量的镀膜材料来形成各类功能薄膜,其所使用的 PVD 镀膜材料主要为溅射靶材,平板显示器的很多性能如分辨率、透光率等都与溅射薄膜的性能密切相关。平板显示镀膜用溅射靶材主要品种有:钼靶、铝靶、铝合金靶、铬靶、铜靶、铜合金靶、硅靶、钛靶、铌靶和氧化铟锡(ITO)靶材等。

平板显示行业主要在显示面板和触控屏面板两个产品生产环节使用 PVD 镀膜材料。其中,平板显示面板的生产工艺中,玻璃基板要经过多次溅射镀膜形成ITO 玻璃,然后再经过镀膜,加工组装用于生产 LCD 面板、PDP 面板及 OLED面板等。触控屏的生产,则还需将 ITO 玻璃进行加工处理、经过镀膜形成电极,再与防护屏等部件组装加工而成。此外,为了实现平板显示产品的抗反射、消影等功能,还可以在镀膜环节中增加相应膜层的镀膜。

平板显示器具有厚度薄、重量轻、低能耗、低辐射、无闪烁、寿命长等特点,符合人们对轻巧便携和节能环保的要求,已成为显示屏行业的主流。特别是液晶显示器中的薄膜场效应晶体液晶显示器(TFT-LCD)因具有画质优、对比度高、响应速度快等特点,被广泛应用于平板电视、手机、平板电脑、笔记本电脑等消费类电子产品,是目前主流平板显示产品。TFT-LCD 生产过程中,溅射靶材主要用于薄膜晶体管(TFT)和彩色滤光片(CF)的制备。

(2)平板显示市场概述

近年来,随着消费者对大尺寸 LCD 电视的需求扩大、5 寸以上智能手机需求的快速成长、车载显示需求扩大以及平板电脑屏幕尺寸放大,推动了平板显示行业整体需求面积的增长。以下重点对 LCD 面板市场和触控屏市场进行阐述:

①LCD 面板市场

近年来,全球平板显示行业保持持续增长态势,国际研究机构 IHS Markit

《显示器供需与设备跟踪》数据显示,大尺寸平板显示器需求在 2016-2018 年间预计会每年增长 5%-6%。

2011 年以来,随着国内外平板显示厂商纷纷在中国大陆建立生产基地,以及政府政策导向和产业扶植下,我国平板显示产业迅速发展,全球平板显示产业重心逐渐向中国大陆转移,我国成为全球主要 LCD 面板生产大国,并相继形了以京东方、华星光电、深天马等为代表的市场影响力较大的 LCD 面板本土品牌。我国显示产业在“十二五”期间快速发展,生产线从 7 条增长到 22 条,面板出货面积近 4,500 万平方米,全球出货量市场占有率从 3.9%提升到 22%,居全球第三。2根据群智咨询统计数据,2015 年中国大陆面板厂产能不断扩张,出货同比增长 51.3%,市场占有率快速提升,其中京东方出货量比 2014 年增长 141.1%,市场占有率达到 13.1%,提升 7.3 个百分点,排名跃居全球第四;华星光电市场占有率则达到 9.5%,排名全球第六。随着京东方及其他中国显示面板厂商在全球面板供应市场份额上升,IHS 预计,到 2018 年中国将成为全球最大的平板显示器件供应国,全球市场占有率将达到 35%LCD 面板市场最大的需求来自电视,LCD 电视已经发展成为市场的主流产品。目前,LCD 电视正向高清化、大屏化、网络化方面发展,甚至一些互联网厂商跨界进入 LCD 电视市场。前些年全球 LCD 电视消费量快速提高,近年来增速有所放缓,但总体保持平稳。作为全球最大的 LCD 电视生产国之一,我国 LCD电视出货量变化趋势与全球基本同步。根据工信部运行监测协调局数据,2014年我国 LCD 电视出货量为 13,865.9 万台,同比增长 13.3%,占当年出货量的92.9%,已成为我国市场主导,PDP 电视占比为 1.47%,CRT 电视基本退出,OLED等新型显示技术的电视产品逐渐受到消费者的关注。2015 年、2016 年,我国 LCD电视产量分别为 14,391.9 万台、15,714 万台,分别比上年增长 3.8%、9.2%。国内平板显示面板行业的快速增长,为 PVD 镀膜材料厂商提供了广阔成长空间。目前,我国平板显示产业链上游的材料仍有 70%左右依赖进口,很多材料仍不能满足下游的需求3。基于产品价格、采购国产化等因素的考虑,我国面板厂商开始有选择地与本土优秀 PVD 镀膜材料厂商合作,并期望建立长期合作伙伴关系,这为我国 PVD 镀膜材料产品的快速发展提供了有利的市场条件,预计未来几年 PVD 镀膜材料市场将保持快速增长态势。

②触控屏市场

触控显示产品是平板显示行业应用领域的重要组成部分,而触控屏是触控显示产品的重要部件。触控屏是一种特殊传感器,是一个不使用键盘和鼠标作为输入设备与显示设备的人机交互界面,触控屏的出现,统一了触觉和视觉,使得人机交互更加直观和便捷。触控屏最大市场需求主要来自智能手机和平板电脑,同时,车载显示和智能穿戴设备市场也呈快速增长态势。近年来,随着智能手机、平板电脑、车载显示、智能穿戴及商业化信息查询系统等智能终端产品的普及推广,全球触控显示产品和技术发展进步较快,产业规模不断提升。

触控屏的结构大致可分为两部分,分别是防护屏和触控模组。其中,触控模组镀膜所用的溅射靶材主要为 ITO、硅、钼、铝等,采用硅靶材反应溅射形成的二氧化硅膜则主要起增加玻璃与 ITO 膜的附着力和平整性、表面钝化和保护等作用;镀 MoAlMo(钼铝钼)膜后蚀刻主要起金属引线搭桥的作用。防护屏主要用于保护触控模组和显示屏免受损伤,其具有防刮耐磨、耐腐蚀、透光率高、反射率低、防油污及美观等功能,实现这些功能需要使用不同镀膜材料,主要为溅射靶材。

目前,以智能手机和平板电脑为代表的智能终端产品基本迈入成熟期,但未来几年智能终端市场仍将在替换性需求的拉动下保持增长的态势。而智能穿戴设备则处于成长期,IDC 研究报告显示,2016 年智能穿戴设备出货量将达 1.1 亿台,比 2015 年增长 38.2%,预计 2020 年出货量将增至 2.37 亿台。

智能终端产品的普及带动触控屏产业规模快速增长,2014 年全球触控屏出货量近 18 亿片,同比增长约 20%。预计至 2017 年,全球触控屏产品出货量有望达到 35-40 亿片/年。

我国是全球智能手机最主要的生产国和消费国之一,受生产技术水平、市场消费习惯等多因素影响,近年来我国智能手机产量增长较快。根据工信部运行监测协调局数据,2014 年我国全年生产手机 16.3 亿部,同比增长 6.8%。2015 年,我国手机产量为 18.1 亿部,同比增长 11.04%,其中智能手机产量 13.99 亿部。2016 年,国内手机产量 21 亿部,同比增长 13.6%,其中智能手机 15 亿部,增长9.9%,占全部手机产量比重为 74.7%。

2014 年,我国触控屏产量约 10 亿片,同比增长 25%,占全球总产量比例超过 50%。按照当前的发展速度,预计至 2017 年我国触控屏行业年工业产值将达到 70 亿美元左右。

2、光学元器件行业

(1)光学元器件行业概况

光学元器件行业属于光学产业链的中游,与其密切相关的行业为光学材料生产行业及光电整机行业,其中光学材料生产行业处于光学元器件行业的上游,光电整机行业处于光学元器件行业的下游。

自从上世纪 90 年代末数字化带动光电应用产品快速发展后,光学元器件应用行业越来越广,从光学传感、照明、通信技术、能量检测、信息存储、传输、处理和显示,到现代的如生命科学、汽车、航空航天等行业的生产和应用,它存在于现代人每天生活和经济活动的大部分领域,常规的应用产品包括智能手机、车载镜头、安防监控设备、数码相机、光碟机、投影机等,高端的应用产品包括航空航天监测镜头、生物识别设备、生命科学中 DNA 测序等研究设备、医疗检查仪器镜头、半导体检测设备以及大视场投影镜头(如 IMAX)、3D 打印机等仪器设备所需的光学元器件及光学镜头。随着科技的进步和制造工艺的提升,智能手机、数码相机等电子产品逐渐成为居民重要的消费产品,其更新换代的加快、产品周期的缩短带动了光学元器件行业的稳步发展。近些年来安防监控设备、车载镜头、航天航空领域的快速发展也对光学元器件行业的增长起到了推动作用。

①智能手机应用市场

近年来,“华为、OPPO、VIVO、小米”等国产品牌凭借性价比、产品更新周期短等特点抢占了智能手机部分市场份额,打破苹果、三星的垄断地位。根据IDC 发布的报告显示,2016 年全球智能手机出货量比 2015 年增长 2.3%,达到14.7 亿部。

近年来,国内品牌手机实现大幅增长,带动了产业链上游的发展。随着智能手机的普及,摄像头已成为手机标配,而手机厂商在推出手机新品时也会考虑在摄像头像素上更新升级,以迎合市场需求,摄像头高清化成为手机厂商必争之地。与此同时,智能手机、平板电脑配备摄像头和双摄像头的比例也在快速提升。

智能手机的更新换代带动了光学元器件的不断发展,未来随着 3D 手势控制和眼球追踪等功能的不断研发,智能手机厂商将在新的机型中配置更多摄像头以实现对上述功能的支持,对光学元器件的需求将进一步提升。

②安防监控应用市场

近年来随着人们安全意识的提高,全球安防监控设备市场发展迅速,呈现出高景气状态,据 IHS 公司旗下 IMS Research 预测,2016 年全球视频监控设备收入将从 2010 年的 96 亿美元上升到 205 亿美元,增长 114%。

近年来我国出台多项政策逐步推进平安城市概念,高清化摄像头作为交管监控、侦查线索被广泛应用,视频监控市场逐步从一线城市扩大到二三线城市。以2015 年为例,2015 年 5 月国家发改委等 9 部委联合推出的《关于加强公共安全视频监控建设联网应用工作的若干意见》明确要求,到 2020 年,重点公共区域视频监控联网率达到 100%。据中国安全防范产品行业协会统计,我国 2013、2014年视频监控市场规模分别为 490、620 亿元,预测 2016 年市场将达到 867 亿元,较 2013 将增长 76.94%。

随着公共与个人安全越来越受到重视,视频监控市场的高速发展持续推动精密光学镜片需求的增长,在未来几年将继续维持高景气。

③车载镜头行业分析

随着全球汽车销量的增长以及行车安全愈来愈受到人们的重视,车载摄像头市场进入快速增长期。车载摄像头具有广泛的应用空间,按照应用领域可分为行车辅助(行车记录仪、ADAS(高级驾驶辅助系统)与主动安全系统)、驻车辅助(全车环视)与车内人员监控,贯穿行驶到泊车的全过程,目前运用最多的是前视以及后视摄像头,随着 ADAS 系统渗透率提高以及人脸识别等技术运用于汽车电子领域,车内以及侧视摄像头将会得到进一步应用。IHS Automotive 发布的报告显示,2014 年车载摄像头全球出货量为 2,800 万枚, 2020 年将增至 8,270万枚,6 年复合增长率达 19.8%,而我国车载摄像头 2015 至 2020 年的年复合增速将超 30%。

④航天航空领域

随着人们出行、旅游、拍摄等方面需求的不断增长,近年来军民融合概念的逐步深化,航天航空业得到较快发展,民用与军用无人机、雷达、空中交通工具均实现较大程度的增长,带动了航天航空用光学元器件的发展。《中国制造 2025》提出,要大力推动航空航天装备等重点领域突破发展。未来随着无人机等广泛应用于影视广告航拍航摄、农林业植保、电力巡检、国家应急救援、物流物资运输、交通监察、环境监测等,航天航空用光学元器件有望迎来下一波快速发展。

(2)镀膜材料在光学元器件行业的应用

由于现代精密光学元件向功能集成化和高精度方向发展,光学元器件的分光光谱特性等需依靠光学镀膜实现,光学镀膜技术已成为光学元器件行业的关键技术之一,使用的 PVD 镀膜材料包括溅射靶材和蒸镀材料。

光学元器件镀膜是指在光学元器件上或独立的基板材料上镀上一层或多层,甚至数百层的介电质膜、金属膜、介电质膜与金属膜组成的膜系,来改变光波传导的特性,包括光的透射、反射、吸收、散射、偏振及相位改变。精密光学镀膜的偏振分光、减反射、光谱波长准确定位(通常在纳米级)等特性是目前其他技术难以替代的,所以光学镀膜技术是光学元器件加工的关键技术,其具有较高的技术门槛,目前高效、高品质、低成本的批量化生产技术仍然只有少数光学加工企业掌握。

近年来,溅射镀膜等镀膜技术开始应用于光学镀膜,提升效率和良品率、降低成本效果明显,成为实现大批量生产精密光学元器件的重要技术。

未来受益于全球及中国光学元器件行业与技术的发展,将对 PVD 镀膜材料的需求有着直接的拉动作用。

3、其他下游应用领域

(1)半导体行业

半导体产业主要由集成电路、半导体分立器件、光电器件和传感器等产品构成,其中集成电路是半导体产业最大的组成部分,亦是溅射靶材重要应用领域。信息技术的飞速发展,要求集成电路的集成度越来越高,电路中单元器件尺寸不断缩小,元件尺寸由毫米级到微米级,再到纳米级。每个单元器件内部由衬底、绝缘层、介质层、导体层及保护层等组成,其中,介质层、导体层甚至保护层都要用到溅射镀膜工艺,溅射靶材是制备集成电路的核心材料之一。

集成电路中所使用的薄膜产品包括电极互连线膜、阻挡层薄膜、接触薄膜、光刻薄膜、电容器电极膜、电阻薄膜等,使用的溅射靶材主要包括铝靶、钛靶、铜靶、钽靶、钨钛靶等。

(2)太阳能电池行业

太阳能光伏行业中,PVD 镀膜材料主要应用于太阳能电池。按太阳能电池的结构划分,可分为结晶硅和薄膜太阳能电池二大族群。目前,PVD 镀膜工艺主要在薄膜太阳能电池中使用,主要镀膜材料为溅射靶材。其中,较为常用的溅射靶材包括铝靶、铜靶、钼靶、铬靶以及 ITO 靶、AZO 靶( Aluminum Zinc Oxide,氧化铝锌)等,纯度要求一般在 99.99%以上,其中,铝靶、铜靶用于导电层薄膜,钼靶、铬靶用于阻挡层薄膜,ITO 靶、AZO 靶用于透明导电层薄膜。

结晶硅技术长期在太阳能电池产业中占据主流地位,由于其成本较高,业内一直通过提升电池转换效率、降低硅片切割厚度等技术来降低成本;与此同时,薄膜太阳能电池因其生产成本低、弱光性好(即在阴天发电能力强)、容易集成等优势,逐渐受到行业关注并增长迅速,未来薄膜太阳能电池市场占有率将逐步提高。

(3)磁记录媒体行业

光磁记录媒体主要包括光记录媒体与磁记录媒体两种,采用溅射镀膜工艺进行镀膜。其中,光记录媒体依照盘片的类别和功能不同,镀膜的要求也不同,重复读写型盘片工艺最复杂,需要镀三层膜,分别为反射层、介电层和记录层;其余盘片则只需镀反射层或半反射层。光记录媒体要求溅射靶材具有良好的薄膜特性、溅镀效率、清净度、晶像均匀性和回收系统等特性。磁记录媒体要求溅射靶材具有高纯度、低气体含量、细晶微结构、均匀的金相、高磁穿透和使用率、优异的电性与机械特性等。

(4)节能玻璃行业

目前,PVD 镀膜材料在节能玻璃行业主要应用于建筑节能玻璃及汽车镀膜玻璃这两个领域中,镀膜材料主要为溅射靶材。

溅射靶材在建筑节能领域主要用于低辐射镀膜玻璃(Low-E 玻璃),Low-E玻璃是在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的膜系产品,该产品对可见光有较高的透射率,对红外线(尤其是中远红外)有较高的反射率,具有良好的隔热性能,能达到控制阳光、节约能源、热量控制调节及改善环境的作用,是目前全球主要的建筑节能玻璃。

在汽车镀膜玻璃中,溅射靶材目前主要用于汽车前风窗玻璃上,汽车镀膜玻璃是采用溅射镀膜技术,在玻璃内表层镀上多层纳米级的金属膜,使太阳光的红外线有效的被反射,阻隔热能进入车体内,降低空调负荷,同时维持良好的透光性,保持视野的清晰,较好的解决了贴膜玻璃存在的缺陷。在欧美等发达国家,镀膜玻璃已作为中高档轿车的标准配置,随着我国人民生活水平的提高,汽车镀膜玻璃已得到越来越多汽车制造商和消费者的青睐。

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